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影响洁净实验室的气流因素

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影响洁净实验室的气流因素

2019/04/22 08:47
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【摘要】:
影响洁净实验室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材料、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
 
影响洁净实验室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材料、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
 
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
 
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