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先进测量洁净实验室的公用设施系统设计
2018/12/18 08:58
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【摘要】：
洁净电力系统作为公用设施系统之一将被均匀分布到所有实验室，每个洁净实验室模块设有专门控制仪表。控制仪表安装在服务走廊。这种布局使得每个实验室与其他实验室彼此独立，每个实验室的改造都不会影响到与其相邻的其他实验室。
而清洁干燥压缩空气、真空、工艺冷却水、试剂清洗用去离子水、氮气等常用特气以及实验室废气排放通道等先进测量洁净实验室的基础公用设施，各类管道系统连接了所有的实验室模块，每个模块都有各类管道系统的连接点。 除上述情况外，还要为洁净室提供不宜远距离传输的较为危险助燃或可燃气体以及有毒有害气（液）体， 所以在设计方案中还应考虑化学气（液）体室。
待各测量设备就位后，所有公共设施通过洁净实验室上层的服务空间，将电力和公用设施输送到实验室光学平台、隔振平台、仪器平台或所要求的特殊区域。
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