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先进测量的洁净实验室研究的展开
2018/12/14 08:47
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【摘要】：
众所周知，实验室的建设区别于民用建筑，是一项综合性很强的技术工作，涉及的专业学科很多，需要多种工艺指标设计实现方法的综合平衡。
用于先进测量的洁净实验室更是如此，在主要实现不同等级洁净度指标的同时，还要兼顾控温、控湿、屏蔽、隔振等其他指标的实现，因为也正是这些工艺指标在同一个建筑物内实现，才能保证各类高精度测量科学研究的开展。 因此，建设一个体现综合工艺指标的先进测量实验室，首先须充分分析和了解用户需求，进而有目标的考虑每一个工艺指标的实现方案，综合平衡考虑才能拿出一个完整的概念设计方法。
中国计量科学研究院（NIM）作为国家的计量科学研究中心和法定计量技术机构，承担大量基础性、前瞻性和综合性技术研究任务。为不断冲击人类测量能力的极限，不仅需要配备先进的仪器设备，对恒温、恒湿、洁净、隔振、电磁屏蔽、蔽光、隔声和低温等综合实验环境条件也提出了严格的要求。因此，为适应计量科技发展新需求，并形成超前技术储备，NIM向国家申请了建设先进测量洁净实验室的计划，专门用于开展我国包括硅微电子、复合半导体、纳米材料在内的各类超精密计量科学研究。
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影响洁净实验室环境合格率的因素研究
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